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Wafer級(jí)TGV設(shè)備

Wafer級(jí)TGV設(shè)備

產(chǎn)品特點(diǎn) 1、靈活的尺寸兼容性，300mm以下全尺寸兼容；
2、采用飛秒激光技術(shù)，高效、高品質(zhì)加工；
3、自主研發(fā)的的加工和控制系統(tǒng)；
4、配備高精度的晶圓自動(dòng)校正系統(tǒng)；
5、全自動(dòng)無人值守；
6、 擁有多項(xiàng)自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)及核心技術(shù)。

產(chǎn)品應(yīng)用

大族半導(dǎo)體研發(fā)的TGV玻璃通孔設(shè)備，是國(guó)內(nèi)研發(fā)最早，至今穩(wěn)定用于TGV量產(chǎn)的設(shè)備。可以實(shí)現(xiàn)各種尺寸盲孔、異形孔、圓錐孔制備，在先進(jìn)封裝、顯示制造、消費(fèi)電子、生命科學(xué)等領(lǐng)域有巨大的應(yīng)用潛力。


產(chǎn)品參數(shù)

內(nèi)容

技術(shù)參數(shù)

設(shè)備最大加工尺寸

12寸

孔位置精度

3μm

運(yùn)行速度

≥800mm/s

孔真圓度（外孔、內(nèi)孔）

≥95% (長(zhǎng)軸/短軸)

孔壁質(zhì)量

≤100nm (與材料和刻蝕能力相關(guān))


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