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解決方案

大族激光多年來注重產(chǎn)品研發(fā)、科技創(chuàng)新投入與沉淀，緊隨高質(zhì)量發(fā)展的推進(jìn)步伐，打破關(guān)鍵核心技術(shù)壁壘；并基于自身產(chǎn)品獨(dú)特優(yōu)勢，不斷豐富全場景解決方案，賦能全球多個市場千行百業(yè)終端應(yīng)用實(shí)例。

激光環(huán)切清洗一體機(jī)

產(chǎn)品特點(diǎn) 1、設(shè)備集成激光環(huán)切、Notch切割、開孔挖槽、ID轉(zhuǎn)印及清洗等多項(xiàng)工藝方案；
2、晶圓輪廓及Notch口精準(zhǔn)識別與定位；
3、切割過程精度、深度的2D/3D視覺檢測；
4、FOUP上料，晶圓機(jī)器人高效傳片；
5、12英寸晶圓全自動作業(yè)；
6、SEMI標(biāo)準(zhǔn)，支持SECS-GEM通信。

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產(chǎn)品應(yīng)用

針對半導(dǎo)體集成電路中的塑封體加工，提供精密激光環(huán)切、Notch切割、開孔挖槽、ID轉(zhuǎn)印及清洗的整體解決方案。

產(chǎn)品參數(shù)

內(nèi)容	技術(shù)參數(shù)
作用材料	EMC
晶圓尺寸	12inch
環(huán)切寬度規(guī)格	>150μm，可調(diào)
環(huán)切寬度精度	±30μm
ID轉(zhuǎn)印深度	>5μm，可調(diào)
ID轉(zhuǎn)印寬度精度	±10μm
Notch切割精度	Size：±20μm，Angle：±3°
塑封挖槽平面尺寸精度	±10μm
塑封挖槽深度精度	±20μm
傳輸系統(tǒng)	Loadport、Robot、Aligner
長x寬x高LxWxH	3000mm2240mm2380mm

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解決方案

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